EDS能量色散溥儀，按能量展譜，主要器件為L(zhǎng)i-Si半導(dǎo)體探測(cè)器.主要利用X光量子的能量不同來(lái)進(jìn)行元素分析。
EDX：Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer 能量色散X射線熒光光譜儀。X射線熒光光譜儀是基于偏振能量色散X熒光光譜儀（ED－XRF）的分析方法。X射線管或放射性同位素源中發(fā)出的X射線激發(fā)固體、液體、粉末樣品中的原子。原子發(fā)射的各元素X射線偏振信號(hào)通過(guò)光電電離之后，通過(guò)固定式半導(dǎo)體檢測(cè)器或封氣正比計(jì)數(shù)器檢測(cè)出來(lái)。 每種元素的發(fā)射強(qiáng)度與樣品中的元素含量成正比，通過(guò)預(yù)先設(shè)置好的校正曲線計(jì)算出來(lái)，可直接顯示含量。