潔凈室（CleanRoom），也稱為潔凈室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有潔凈室，就不可能大量生產(chǎn)對(duì)污染敏感的零件。本文僅簡(jiǎn)要討論在潔凈室凈化措施中達(dá)到潔凈度要求的四個(gè)必要條件。

1.送風(fēng)清潔度為了確保送風(fēng)清潔度符合要求，關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)最終過(guò)濾器的性能和安裝?？紤]到清潔度要求，原則是在低級(jí)潔凈室中使用低性能過(guò)濾器，在高級(jí)潔凈室中使用高性能過(guò)濾器。一般來(lái)說(shuō)：

一百萬(wàn)個(gè)等級(jí)可以選擇高效率和中效過(guò)濾器；低于10,000級(jí)可以選擇亞高效過(guò)濾器或A型高效過(guò)濾器;10,000至100級(jí)使用B型過(guò)濾器；100到1級(jí)使用C型過(guò)濾器。每個(gè)清潔度級(jí)別似乎都有兩種過(guò)濾器可供選擇。高性能還是低性能的選擇取決于特定的情況：當(dāng)環(huán)境污染嚴(yán)重，室內(nèi)排氣比例較大或潔凈室時(shí)，特別重要的是，需要更大的安全系數(shù)。在這些情況或其中一種情況下，應(yīng)選擇更高類型的過(guò)濾器；否則，應(yīng)選擇性能較低的濾波器。

2.氣流的組織潔凈室的氣流組織與普通空調(diào)室的氣流組織不同。它要求首先將最清潔的空氣發(fā)送到操作部件。其功能是限制和減少加工產(chǎn)品的污染。因此，在設(shè)計(jì)氣流組織時(shí)應(yīng)考慮以下原則：最小化湍流并避免將污染帶入工作區(qū)域之外；嘗試防止二次灰塵飛揚(yáng)，以減少灰塵污染工件的機(jī)會(huì)；工作區(qū)域的氣流應(yīng)盡量保持均勻，風(fēng)速應(yīng)符合工藝和衛(wèi)生要求。當(dāng)氣流流向回風(fēng)口時(shí)，應(yīng)有效地清除空氣中的灰塵。

3.空氣供應(yīng)或風(fēng)速充分通風(fēng)是為了稀釋和消除室內(nèi)污染的空氣。根據(jù)不同的清潔要求，當(dāng)潔凈室的凈高度較高時(shí)，應(yīng)適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中，根據(jù)高，中效率凈化系統(tǒng)考慮一百萬(wàn)級(jí)潔凈室的通風(fēng)[7]，其余根據(jù)高效凈化系統(tǒng)考慮通風(fēng);當(dāng)將十萬(wàn)級(jí)潔凈室高效過(guò)濾器布置在機(jī)房中央或系統(tǒng)端采用亞高效過(guò)濾器時(shí)，此時(shí)的通風(fēng)頻率可適當(dāng)提高10-20％。四，靜壓差在潔凈室中保持一定的正壓是確保潔凈室不受污染或保持潔凈度以保持設(shè)計(jì)潔凈度所必不可少的條件之一。即使是負(fù)壓潔凈室，它也必須具有不低于其潔凈度水平的相鄰房間或套房，以維持一定的正壓，這樣才能保持負(fù)壓潔凈室的潔凈度。

潔凈室的正壓值是指門窗全部關(guān)閉時(shí)室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的值。通過(guò)該方法實(shí)現(xiàn)了，凈化系統(tǒng)的空氣供應(yīng)量大于回流空氣量和排氣空氣量。為了確保潔凈室的正壓值，最好將供氣，回風(fēng)和排風(fēng)扇聯(lián)鎖。打開(kāi)系統(tǒng)電源時(shí)，應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)風(fēng)扇，然后再啟動(dòng)回風(fēng)風(fēng)扇和排氣風(fēng)扇；當(dāng)系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉排氣風(fēng)扇，然后再關(guān)閉風(fēng)扇和送風(fēng)風(fēng)扇。，以防止在打開(kāi)和關(guān)閉系統(tǒng)時(shí)污染潔凈室。在潔凈室中維持正壓所需的風(fēng)量主要取決于維護(hù)結(jié)構(gòu)的密封性。在我國(guó)無(wú)塵室建設(shè)的初期，由于封閉結(jié)構(gòu)的氣密性差，必須保持≥5Pa的正壓，這需要每小時(shí)供氣2-6次；維修結(jié)構(gòu)的氣密性大大提高，相同的正壓供氣量?jī)H為每小時(shí)1?2次。維持≥1OPa也僅需要2?3次/小時(shí)的供氣量。必須保持≥5Pa的正壓，這需要2-6次/小時(shí)的供氣量；維修結(jié)構(gòu)的氣密性大大提高，相同的正壓供氣量?jī)H為每小時(shí)1?2次。維持≥1OPa也僅需要2?3次/小時(shí)的供氣量。必須保持≥5Pa的正壓，這需要2-6次/小時(shí)的供氣量；維修結(jié)構(gòu)的氣密性大大提高，相同的正壓供氣量?jī)H為每小時(shí)1?2次。維持≥1OPa也僅需要2?3次/小時(shí)的供氣量。